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[设备介绍] 磁控溅射设备

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发表于 2014-1-29 10:19:43 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 greedisgood 于 2014-1-29 10:23 编辑

磁控溅射-LAB18
20100911094655nopic.gif                
编号: LAB 18 (SN200901017)                 
工艺类别: 镀膜
所属单位:加工平台                 
管理员: 程伟                 
状态: 正常                 
价格:225/30分钟                 
单位预约时间:30(单位:分钟)                 
用途                 
主要用于溅射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn等金属薄膜,AlN、SiO2等介质薄膜,
一次可溅射两寸片5片,四寸片和六寸片1片,向下尺寸兼容,薄膜不均匀性≤±5%。
为不影响他人工艺,以及有充足的时间对设备进行维护,氧化物溅射工艺只安排在周五、周六进行。
每日18:00-19:00时为加班人员短暂休息和用餐时间,涉及到贵重金属的使用,工艺时需有工作人员在场,非工艺特别赶的情况,请尽量避开预约此段时间。 1.5小时起预约。                 
主要技术指标                 
溅射速率0.1A/s-10A/s; 反溅射功率0-200W; 溅射功率50-500W;
溅射厚度:  普通金属(Ni、Al、Ti、Ag、Cr、Cu)5nm-2000nm;   贵重金属(Pt、Au、Pd)5nm-500nm;
气体(Ar、O2、N2); 流量范围0-100 sccm; 背底真空:8E-6 Torr; 温度:20-400 ℃;



磁控溅射 FHR
201302270404352000.jpg                
编号:FHR                 
工艺类别:镀膜                 
所属单位:加工平台                 
管理员:王进                 
状态:正常                 
价格:500/30分钟                 
单位预约时间:30(单位:分钟)                 
用途                 
在一相对稳定真空状态下,阴阳极间产生辉光放电,极间气体分子被离子化而产生带电电荷,其中正离子受阴极之负电位加速运动而撞击阴极上之靶材,将原子等粒子溅出,溅出的粒子则沉积于阳极的基板上而形成薄膜。
磁控溅射是在阴极靶的表面上方形成一个正交电磁场,由于外加磁场的存在,电子的复杂运动增加了电离率,实现了高速溅射。 0.5小时起预约。
由于加班时无人员轮换,每日18:00-19:00时为加班人员短暂休息和用餐时间,涉及到贵重金属的使用,工艺时需有工作人员在场,非工艺特别赶的情况,请尽量避开预约此段时间。                 
主要技术指标                 
装片:一片六英寸衬底、或1片四英寸,向下兼容。 电源:配备射频(0-1kw)和直流(0-3kw)各一套。
真空配置:机械泵+分子泵 极限真空:1.8E-7mbar 基片温度:室温,连续淀积累积温度可达200℃ 阴极5个靶位,靶材尺寸8英寸。
淀积材料:Al、Au、Cu、Cr、Ti、TiW(至少提前1天同工程师预约)


溅射台(国产)
2013041809532345476c87gw1e3axhdd4vtj.jpg
编号:GC4-2 (SN201208222)                 
工艺类别: 镀膜                 
所属单位:加工平台                 
管理员:钟凡                 
状态:正常                 
价格:140/30分钟                 
单位预约时间:30(单位:分钟)                 
用途                 
主要用于溅射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、等金属薄膜,各种氧化物薄膜,一次可溅射两寸片4片,向下尺寸兼容,
薄膜不均匀性≤±10%" 2小时起约。                 
主要技术指标                 
溅射速率0.1A/s-10A/s,溅射功率0-200W,
溅射厚度:普通金属(Ni、Al、Ti、Ag、Cr、Cu)5nm-2000nm,贵重金属(Pt、Au)5nm-500nm;气体(Ar、O2、N2),
流量范围0-100sccm。背底真空:5E-4Pa温度:20-400℃

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发表于 2014-3-26 18:31:09 | 显示全部楼层
最喜欢FHR了,效率很高
[发帖际遇]: SUPER無間道 发帖时在路边捡到 1 微纳币,偷偷放进了口袋. 幸运榜 / 衰神榜
发表于 2014-4-16 16:30:40 | 显示全部楼层
这些设备都有各自的特色,如果有谁不是很清楚的可以发帖咨询或打电话:0512-62872658
发表于 2017-3-20 12:02:33 | 显示全部楼层
老师,您好,我是北京众诚新材的蒋立志,公司是专业生产磁控溅射靶材和蒸发镀膜材料的,希望能有机会让您能试一下我们做的,多一个参考和对比,谢谢您。
发表于 2017-4-12 09:55:49 | 显示全部楼层
请问如何联系到上述几位设备管理员?谢谢
发表于 2018-11-12 11:11:46 | 显示全部楼层
老师,您好,我是沈阳创镕金属材料的刘经理,我家工厂是是加工,金银铂钯,贵金属靶材的,希望能有机会让您能试一下我家做的靶材!微信:LCL2849088 QQ:1633448712 刘经理,期待与您的合作!
发表于 2019-12-31 20:27:42 | 显示全部楼层
请问是卖设备的,还是承接实验的呢
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