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[光刻设备] 紫外光刻机

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发表于 2014-2-6 10:27:54 | 显示全部楼层 |阅读模式
紫外光刻机
201302270607121.jpg                  
编号: MJB3                  
工艺类别:光刻                 
所属单位:加工平台                 
管理员:龚亚飞            
状态:正常                 
价格:200/30分钟                 
单位预约时间:30(单位:分钟)                 
用途                 
365nm宽带光源,接触式光刻。
主要用于线条>2μm的2英寸样品或<2inch样品光刻。                 
主要技术指标                 
样品大小:  1、标准片(φ2英寸); 2、小片(<φ2英寸); 3、晶圆厚度<3mm。 分辨率:>2μm。
对准精度:5μm。


点评

海!外直播 t.cn/RxmJTrS 禁闻视频 t.cn/RxBCc6t 这台湾的蔡英文把执政党赶下台在赵国是颠覆国家政权罪的行为,看来全国媒体都要对台湾大选和蔡英文要好好批判一番...呵呵  发表于 2018-10-30 01:35
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