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[光刻设备] 国产紫外光刻机

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发表于 2014-2-6 10:39:44 | 显示全部楼层 |阅读模式
国产紫外光刻机
201302270559001.jpg                  
编号:URE-2000135                  
工艺类别:光刻                 
所属单位:加工平台                 
管理员:孔赤         
状态:检修                 
价格:200/30分钟                 
单位预约时间:30(单位:分钟)                 
用途                 
紫外接近、接触式光刻制造小规模集成电路,半导体器件等                 
主要技术指标                 
样品面积为2寸,4寸,6寸标准片和碎片。
灯源采用350W直流高压汞灯,波长使用为365nm为主的宽带光源,曝光最大面积150mm*150mm。
照明均匀度±4%,对准精度:±1微米。
分辨率:1微米。 光刻版为3寸,4寸,5寸,7寸标准光刻版。
注意最小的光刻版为3寸,2.5寸光刻版不适合本机台使用。


点评

海!外直播 t.cn/RxBC0c2 禁闻视频 t.cn/RxkPOKa “绝不照搬西方模式”西方模式是什么?不敢说.①新闻自由,不敢搬,因为害怕人民监督.②官员财产公开,不敢搬,因为害怕腐败曝光.③官员选举产生,不敢搬,因为害怕人民不   发表于 2018-10-27 10:31
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发表于 2014-4-25 10:11:35 | 显示全部楼层
国产设备还有很大进步空间呐。
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