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查看: 922|回复: 7

湿法腐蚀方面的咨询

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发表于 2014-2-25 17:01:54 | 显示全部楼层 |阅读模式
您好!我想请问一下贵平台,是否有做TMAH湿法腐蚀工艺的条件?包括TMAH溶液和水浴槽?谢谢!
[发帖际遇]: 打破砂锅问到底 发帖时在路边捡到 2 微纳币,偷偷放进了口袋. 幸运榜 / 衰神榜
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发表于 2014-2-26 09:20:59 | 显示全部楼层
您好,关于您所说的TMAH,我平台目前有正常使用,我们是稀释后做为显影液使用,该溶液碱性较强,如果不稀释也有客户将他做为去胶剂使用。其他湿法用途,比如铝腐蚀,硅腐蚀我们没有直接的工艺经验,你可以自己摸索。 关于水浴槽我平台较为齐全能够满足六寸及以下所有样片的清洗。
如还有疑问 可以再留言或者直接 电子邮件联系  tyu2012@sinano.ac.cn
发表于 2014-2-27 22:16:40 | 显示全部楼层
我们也提供25%的四甲基氢氧化铵溶液,那个一般都是腐蚀硅的。
发表于 2014-3-3 17:10:46 | 显示全部楼层
这也是我所关心的问题,谢谢版主解答
[发帖际遇]: 一个袋子砸在了 戴小旺 头上,戴小旺 赚了 3 微纳币. 幸运榜 / 衰神榜
发表于 2014-3-4 10:55:57 | 显示全部楼层
戴小旺 发表于 2014-3-3 17:10
这也是我所关心的问题,谢谢版主解答

欢迎来我版块留言~
发表于 2014-3-5 09:48:59 | 显示全部楼层
搭车问一下,你们那做湿法腐蚀方便吗,有没有干法刻蚀的设备?
发表于 2014-3-6 12:42:00 | 显示全部楼层
发表于 2014-3-7 09:18:22 | 显示全部楼层
半生不熟 发表于 2014-3-5 09:48
搭车问一下,你们那做湿法腐蚀方便吗,有没有干法刻蚀的设备?

干法刻蚀我在那边用过RIE,就是设备有点老了,不过还挺好用的。还有些其他干刻机,没仔细看,记不清了
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