设为首页收藏本站

微纳加工之家

 找回密码
 立即注册

QQ登录

只需一步,快速开始

快捷导航
光刻
光刻
刻蚀
刻蚀
薄膜
薄膜
封装
封装
查看: 4562|回复: 7

[设备介绍] 离子束刻蚀机 IBE

[复制链接]
发表于 2014-2-7 09:41:05 | 显示全部楼层 |阅读模式
离子束刻蚀机 IBE
20100910054812离子束刻蚀机.jpg                  
编号:IBE-A-150 (SN200908001)                 
工艺类别: 刻蚀                 
所属单位:加工平台                 
管理员:陆建斌                 
状态:正常                 
价格:200/30分钟                 
单位预约时间:30(单位:分钟)                 
用途                 
用于刻蚀较难刻蚀的物质及金属。一次可刻蚀6寸片/4寸片/3寸片一片或2寸片4片。刻蚀均匀性<±5%                 
主要技术指标                 
本底真空:5E-4Pa, 工作真空:2E-2Pa, 温度:20度。 离子能量0-600eV(实用范围200-400eV)

点评

海!外直播 t.cn/RxmJTRo 禁闻视频 t.cn/RJJZmv0 中国人的一天:早上起来呼吸过滤了的空气,上午喝一杯过滤过的水,工作的时候看一下过滤过的新闻....  发表于 2018-10-31 23:34
回复

使用道具 举报

发表于 2014-3-26 18:56:46 | 显示全部楼层
物理刻蚀,其它方法没法刻蚀的材料,可以用这台设备试试
发表于 2017-7-25 13:35:50 | 显示全部楼层
请问,Ar离子对石英的刻蚀速率有多少?
发表于 2017-7-25 16:53:05 | 显示全部楼层
物理刻蚀 一分钟 十几纳米吧
发表于 2017-7-27 19:11:06 | 显示全部楼层
IBEtechnology 发表于 2017-7-25 13:35
请问,Ar离子对石英的刻蚀速率有多少?

打电话问马苏州,他可以给你准确的答复。
发表于 2017-7-28 17:52:23 | 显示全部楼层
wujianjia 发表于 2017-7-27 19:11
打电话问马苏州,他可以给你准确的答复。

拨打0512-62872658,找马老师。
发表于 2017-7-28 19:29:05 | 显示全部楼层
IBEtechnology 发表于 2017-7-25 13:35
请问,Ar离子对石英的刻蚀速率有多少?

300ev离子能量刻蚀速率大约在10nm/min;350ev离子能量刻蚀速率大约在17-18nm/min。供参考
您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

   
关闭

站长推荐上一条 /1 下一条

小黑屋|手机版|微纳加工论坛    

GMT+8, 2020-10-25 01:58 , Processed in 2.483788 second(s), 30 queries .

Powered by Discuz! X3.1 Licensed

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回复 返回顶部 返回列表