设为首页收藏本站

微纳加工之家

 找回密码
 立即注册

QQ登录

只需一步,快速开始

快捷导航
光刻
光刻
刻蚀
刻蚀
薄膜
薄膜
封装
封装
查看: 4033|回复: 6

[封装设备] 划片机

[复制链接]
发表于 2014-2-18 17:21:21 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 greedisgood 于 2014-2-18 17:40 编辑

激光划片机

201302270459471.jpg
编号: Titan (SN200811036)  
工艺类别: 封装  
所属单位: 加工平台  
管理员: 王洋洋  
状态: 正常  
价格: 250/30分钟  
单位预约时间: 30(单位:分钟)  
用途  
利用高能量激光在样品表面烧灼出一定深度的沟道,实现样品表面的切割,即解理管芯的目的.  
主要技术指标  
According to 350μm×350μm chips,2inch wafer
Capacity: 5 wafers/hour
Scribed time/wafer: ≤11min
Aligned time/wafer: ≤60 s
Scribed Depth: 20μm±10%
Scribed width: 5.0μm (typical)
Stage route: 100 mm×100 mm
Coding resolution: 0.1μm
Horizontal precision: 1.0μm
Precision: 1.5μm(50mm),< 5μm(100mm)
Repeat precision:1μm  


OPTO划片机

图片1.jpg   
编号: OSM-80TP-Y  
工艺类别: 封装  
所属单位: 加工平台  
管理员: 董艳  
状态: 正常  
价格: 35/30分钟  
单位预约时间: 30(单位:分钟)  

用途  
利用金刚石实现样品表面的切割,适用于减薄后的蓝宝石衬底的GaN样品。  
主要技术指标  
切割片厚度不超过200um,划片槽宽度大于30um。  




DISCO划片机
图片2.jpg

编号: DAD340  
工艺类别: 封装  
所属单位: 加工平台  
管理员: 董艳  
状态: 正常  
价格: 300/30分钟  
单位预约时间: 30(单位:分钟)  
用途  
通过砂轮式划片刀将Si、玻璃、陶瓷、Ge、铌酸锂等材料分割成一定大小的芯片,实现芯片的分割目的。
  
主要技术指标  
硅片/SiC切割厚度不超过600um,划片槽大于60um,速度不超过40mm/s。
玻璃/石英切割厚度不超过500um,划片槽大于150um、速度不超过2mm/s。  



隐形激光划片

20130709092542Tulips.jpg
编号: ML200 puls  
工艺类别: 封装  
所属单位: 苏州纳米所  
管理员: 董艳  
状态: 正常  
价格: 800/60分钟  
单位预约时间: 60(单位:分钟)  
用途  
通过激光将Si材料分割成一定大小的芯片,实现芯片的分割目的。
  
主要技术指标  
激光波长为1.08um,样品尺寸小于8英寸,硅片切割厚度不超过600um,划片槽大于10um。  

点评

海!外直播 t.cn/RxlBL8F 禁闻视频 t.cn/Rxl1r5X 本来,英国脱欧非常复杂,难言好坏。但是,一看到环球某报批评脱欧,大家就支持英国脱欧了。呵呵!看这个就知道了  发表于 2019-2-12 02:03
[发帖际遇]: greedisgood 捡了钱没交公 微纳币 降了 2 . 幸运榜 / 衰神榜
回复

使用道具 举报

发表于 2014-2-27 14:05:48 | 显示全部楼层
{:soso__10169062262133571330_1:}
发表于 2014-3-14 10:31:13 | 显示全部楼层
u=4105555098,2190065144&fm=21&gp=0.jpg
发表于 2014-3-14 13:25:15 | 显示全部楼层
{:soso__4281acd065ce1fc5-a3c0306d2a614c1b-e8ad77e55f8e0d7dd1e596b0b3f5bd92.jpg_2:}
发表于 2014-3-26 07:17:20 | 显示全部楼层
本帖最后由 wonder_02 于 2014-3-26 18:22 编辑

划片机的种类蛮多的,工作人员很专业。
发表于 2014-4-13 09:35:34 | 显示全部楼层
顶贴是一种美德~
您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

   
关闭

站长推荐上一条 /1 下一条

小黑屋|手机版|微纳加工论坛    

GMT+8, 2020-10-26 17:49 , Processed in 0.225786 second(s), 30 queries .

Powered by Discuz! X3.1 Licensed

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回复 返回顶部 返回列表