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MA6

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发表于 2014-1-28 09:16:16 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 桑秋 于 2014-1-28 09:34 编辑

MA6紫外光刻机
编号:          MA6 (SN201208226)  
工艺类别:    光刻   
所属单位:    加工平台  
状态:          正常      
用途:          宽带光源,紫外接近,接触式光刻,可实现双面对准。最大曝光面积?φ150mm。
分辨率:      2μm。
套刻精度:   ±1μm。  
主要技术指标
样品大小:    1.标准片(φ2/4/6英寸);2.小片(大于10×10mm小于2寸);3.其它;4.晶元厚度小于3mm。
光刻胶类型: 1.AZ5214(厚度1.6~2.5μm,可反转);2.AZ6112(1.0~2.0μm,正胶);3. AZ46 20(厚       度8~30μm,正 胶);   4 、双层(底层LOR10A,20B,30B);5、其他
分辨率要求: 1.大于1μm 2.小于1μm。
对准要求:    1.大 于±1μm 2.小于±1μm。


[发帖际遇]: 桑秋 捡了钱没交公 微纳币 降了 1 . 幸运榜 / 衰神榜
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发表于 2014-1-28 09:17:00 | 显示全部楼层
{:soso__5986758002724609429_2:}
发表于 2014-1-28 09:19:26 | 显示全部楼层
别光顾着抢沙发,要像楼主学习啊{:soso__5323213014292507142_1:}
 楼主| 发表于 2014-1-28 09:22:02 | 显示全部楼层
我从来没捡到钱,怎么交公啊{:soso__10654905379713352855_4:}
发表于 2014-1-28 09:22:35 | 显示全部楼层
{:soso__7613484438561144472_7:}
发表于 2014-1-28 09:52:10 | 显示全部楼层
桑秋 发表于 2014-1-28 09:22
我从来没捡到钱,怎么交公啊

让土豪笑蚊子往地上放点
发表于 2014-1-28 10:06:05 | 显示全部楼层
{:soso__7440887204119453221_4:}多多学习一下
发表于 2014-1-28 10:25:12 | 显示全部楼层
{:soso__15042744691076632343_2:}
发表于 2014-1-28 11:30:24 | 显示全部楼层
路无尘 发表于 2014-1-28 09:52
让土豪笑蚊子往地上放点

哪个单位的,下月工资减半,不好好工作,让你天天逛水潭。
发表于 2014-3-3 17:25:36 | 显示全部楼层
贵平台的光刻机很给力啊!
[发帖际遇]: TK9000 被钱袋砸中进医院,看病花了 1 微纳币. 幸运榜 / 衰神榜
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