| 仪器设备 | ||
| 仪器类别: | 薄膜设备 | |
| 仪器名称: | 原子层沉积系统 |  |
| 仪器英文名称: | Atomic | |
| 仪器简短名称: | ALD | |
| 仪器型号: | SINO-ALD | |
| 公司厂家: | 邑文 | |
| 厂家网址: | ||
| 开放开始时间: | 09:00:00 | |
| 开放结束时间: | 18:00:00 | |
| 最小提前预约时间: | 4 | |
| 最大提前预约天数: | 10 | |
| 仪器管理员: | 赖信 | |
| 仪器状态: | 正常 | |
|
备注: |
水基氧化铝目前可用，氮化铝、臭氧氧化铝正在调机 |
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| 仪器设备 | ||
| 仪器类别: | 薄膜设备 | |
| 仪器名称: | 原子层沉积系统 | |
| 仪器英文名称: | Atomic | |
| 仪器简短名称: | ALD | |
| 仪器型号: | SINO-ALD | |
| 公司厂家: | 邑文 | |
| 厂家网址: | ||
| 开放开始时间: | 09:00:00 | |
| 开放结束时间: | 18:00:00 | |
| 最小提前预约时间: | 4 | |
| 最大提前预约天数: | 10 | |
| 仪器管理员: | 赖信 | |
| 仪器状态: | 正常 | |
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备注: |
水基氧化铝目前可用，氮化铝、臭氧氧化铝正在调机 |
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