| 仪器设备 | ||
| 仪器类别: | 量测设备 | |
| 仪器名称: | 原子力显微镜（AFM） |  |
| 仪器英文名称: | ||
| 仪器简短名称: | AFM | |
| 仪器型号: | Dimension ICON | |
| 公司厂家: | Bruker | |
| 厂家网址: | ||
| 开放开始时间: | 00:00:00 | |
| 开放结束时间: | 24:00:00 | |
| 最小提前预约时间: | 1 | |
| 最大提前预约天数: | 7 | |
| 仪器管理员: | 黄智盈 | |
| 仪器状态: | 正常 | |
|
备注: |
功能：用于样品微观形貌、电学、磁学和力学等性能参数测试。 主要技术参数：XY方向扫描范围：90μm×90μm；Z方向扫描范围：10μm；纵向噪音水平：＜30pm RMS值；XY方向闭环噪音水平：≤0.15nm RMS值；XY方向开环噪音水平：≤0.1nm RMS值；Z方向闭环噪音水平：35pm RMS值；XYZ三方向的非线性：＜0.5%；样品尺寸和固定方式：210mm直径，真空吸附；样品台（X-Y轴）可观测区域：180mm×150mm；定位精度：3μm。 |
|