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12寸晶圆键合机
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正常
夏睿孚
GeminiFB
EVG
https://www.evgroup.com/zh/company/about-evg/
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混合键合机
09:00:00
|
18:00:00
正常
夏睿孚
LithoBolt
ASMPT
https://china.semi.asmpt.com/zh-cn/
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快速热处理系统RTP
委托操作
500
自主操作
500
09:00:00
|
18:00:00
正常
朱思锡
AccuThermo AW-810M
Allwin21
详细
氧化扩散炉
二氧化硅生长
600
金属退火
500
09:00:00
|
18:00:00
正常
朱思锡
金立盾
青岛金立盾
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